This Author published in this journals
All Journal Jurnal Spektra
M. Hikam
Department of Physics, FMIPA UI, UI Campus Depok, Indonesia – 17000

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

Pengaruh Suhu Tumbuh Terhadap Struktur Kristal Lapisan Tipis ZnO 0.02 mol Purno Aji, Wisnu; Priyotomo, Rizqon; Sugihartono, iwan; Handoko, Erfan; Soegijono, Bambang; Hikam, M.
Jurnal Spektra Vol 14, No 1 (2013): Spektra: Jurnal Fisika dan Aplikasinya
Publisher : Jurnal Spektra

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis ZnO 0.02 mol diatas substrat Si (111) menggunakan teknik Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP) dengan suhu tumbuh 4000C, 4500C, dan 5000C. Serbuk Zn(CH3COO)2 . 2H2O digunakan sebagai larutan precursor dengan air de-ionisasi sebagai pelarut. Berdasarkan profil warna lapisan tipis ZnO yang tumbuh diatas substrate silikon diprediksikan memiliki ketebalan sekitar 200 nm. Sementara, hasil karakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) pada temperature ruang menunjukan bahwa fasa kristal yang terbentuk merupakan polikristal ZnO dengan intensitas spectrum XRD yang tidak linear dengan penambahan suhu tumbuh.Kata kunci: Lapisan Tipis, Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP), Struktur Kristal