Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2019 - 2024
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Physics Student Journal
Muhammad Shoufie Ukhtary
Department of Physics, Brawijaya University
Physics

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
KARAKTERISASI TEMPERATUR ELEKTRON (Te) DARI SPEKTROSKOPI EMISI OPTIK UNTUK PLASMA GAS ARGON YANG DIHASILKAN DARI PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (PE CVD) Ukhtary, Muhammad Shoufie; -, Abdurrouf; -, Masruroh
Physics Student Journal Vol 1, No 1 (2013)
Publisher : Department of Physics - Faculty of Science

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Studi karakterisasi temperatur elektron  (Te)  untuk plasma gas argon telah dilakukan. Plasma gas argon murni dihasilkan dari Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD) dan spektrum emisi diukur dari Optical Emission Spectroscopy (OES).Dari spektrum emisi plasma, diperoleh posisi panjang gelombang dan intensitas emisi atomik dari plasma argon. Jenis spesies ditentukan dengan mencocokan panjang gelombang dengan database National Institute of Standard and Technology (NIST).  Temperatur elektron dihitung menggunakan persamaan Bolztmann. Variasi laju alir gas argon dalam plasma berpengaruh pada temperatur elektron. Semakin tinggi laju alir gas argon, maka temperatur elektronnya semakin besar.
Co-Authors Abdurrouf - Budy Wiryawan