Jurnal Pengajaran MIPA
Vol 5, No 2 (2004): JPMIPA: Volume 5, Issue 2, 2004

STUDI AWAL PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS GAN DENGAN TEKNIK SPIN-COATING

Rusdiana, Dadi (Unknown)
Suhandi, Andi (Unknown)
Tayubi, Yuyu R. (Unknown)



Article Info

Publish Date
23 Dec 2004

Abstract

GaN merupakan material semikonduktor yang memiliki nilai celah pita energi (Eg ) sekitar 3,45 eV pada temperatur ruang dengan struktur transisi langsung. Keadaan ini membuat GaN sangat potensial untuk aplikasi divais optoelektronik yang beroperasi para rentang panjang gelombang UV. Dalam studi ini telah dilakukan uji penumbuhan lapisan (GaN) di atas  substrat Si (100) dan Al2O3 (0001) dengan teknik  sol-gel spin-coating dengan menggunakan kristal gallium-citrate-amine sebagai prekursor Ga. Teknik ini tergolong sederhana, mudah pengoperasiannya dan relative murah. Hasil karakterisasi lapisan GaN yang berhasil ditumbuhkan menunjukkan bahwa baik yang ditumbuhkan di atas substrat  Si (100) maupun  Al2O3 (0001) masih memiliki struktur polikristal.  Kualitas morfologi lapisan GaN masih relatif rendah, dengan ketebalan rata-rata berkisar antara 1-1,5 m. Nilai celah pita energi lapisan GaN yang ditumbuhkan di atas Al2O3 (0001) berdasarkan hasil karakterisasi UV-Vis spectroscopy adalah sekitar 3.20 eV. Nilai ini masih sedikit lebih rendah dari nilai idealnya.

Copyrights © 2004






Journal Info

Abbrev

JPMIPA

Publisher

Subject

Description

Journal of Mathematics and Science Teaching or Jurnal Pengajaran Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam (JPMIPA) was founded in 1993 and published qualitative and or quantitative research concerning mathematics and science teaching. JPMIPA is published by Faculty of Mathematics and Science Education ...