Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis karakteristik instrumen tes keterampilan proses sains pada materi elastisitas dan hukum Hooke pada siswa sekolah menengah atas (SMA) menggunakan analisis teori respon butir. Karakteristik instrumen yang dianalisis adalah model parameter logistik yang sesuai, validitas, reliabilitas, daya pembeda, tingkat kesukaran dan faktor tebakan semu. Metode penelitian yang digunakan adalah deskriptif kuantitatif dengan desain one-shot design. Partisipan dalam penelitian ini terdiri dari 121 siswa SMA di Kota Bandung, Kota Tasik Malaya, dan Kota Padang Panjang yang telah mempelajari materi elastisitas dan hukum Hooke. Instrumen yang digunakan berupa 20 butir soal dalam bentuk pilihan ganda dengan lima pilihan jawaban. Hasil analisis validitas menggunakan indeks Aiken V menunjukkan bahwa instrumen tes ini dinyatakan valid. Berdasarkan identifikasi model parameter logistik, model yang paling cocok untuk instrumen ini adalah model 3-PL dengan fungsi informasi sebesar 21,02. Reliabilitas instrumen menunjukkan instrumen reliabel untuk diberikan kepada siswa dengan kemampuan rendah hingga sangat tinggi dengan nilai kemampuan -1,33 sampai 2,73. Parameter daya pembeda instrumen ini secara keseluruhan adalah baik dengan nilai a = 1,43 dengan tingkat kesukaran pada kategori sedang dengan nilai b = 0,9, dan faktor tebakan semu yang baik dengan nilai c = 0,17. Hasil analisis karakteristik instrumen menunjukkan bahwa instrumen tes keterampilan proses sains pada materi elastisitas dan hukum Hooke dinyatakan valid dan reliabel.