PROSIDING SEMINAR NASIONAL FISIKA (E-JOURNAL)
Vol 2 (2013): PROSIDING SEMINAR NASIONAL FISIKA (E-JOURNAL) SNF2013

Pengaruh Suhu Tumbuh Terhadap Struktur Kristal Lapisan Tipis ZnO 0.02 mol

Wisnu Purno Aji (Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220)
Rizqon Priyotomo (Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220)
Iwan Sugihartono (Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220)
Erfan Handoko (Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220)
Bambang Soegijono (PPS Ilmu Material Universitas Indonesia, Jalan Salemba Raya No. 4, Jakarta Pusat, 10430)
M. Hikam (PPS Ilmu Material Universitas Indonesia, Jalan Salemba Raya No. 4, Jakarta Pusat, 10430)

Article Info

Publish Date
30 Oct 2013

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis ZnO 0.02 mol diatas substrat Si (111) menggunakan teknik Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP) dengan suhu tumbuh 4000C, 4500C, dan 5000C. Serbuk Zn(CH3COO)2 . 2H2O digunakan sebagai larutan precursor dengan air de-ionisasi sebagai pelarut. Berdasarkan profil warna lapisan tipis ZnO yang tumbuh diatas substrate silikon diprediksikan memiliki ketebalan sekitar 200 nm. Sementara, hasil karakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) pada temperature ruang menunjukan bahwa fasa kristal yang terbentuk merupakan polikristal ZnO dengan intensitas spectrum XRD yang tidak linear dengan penambahan suhu tumbuh. Kata kunci: Lapisan Tipis, Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP), Struktur Kristal.

Copyrights © 2013




Citation Download
RIS
EndNote, Reference Manager, ProCite
BibTex
Latex, Jabref
Full PDF
191.055 KB
Original Source
Download Original
Google Scholar
Check in Google Scholar
Journal Info
PROSIDING SEMINAR NASIONAL FISIKA (E-JOURNAL)
Website

Abbrev

prosidingsnf

Publisher

Universitas Negeri Jakarta

Subject

Electrical & Electronics Engineering Energy Physics Other

Description

Focus and Scope: Physics education Physics Instrumentation and Computation Material Physics Medical Physics and Biophysics Physics of Earth and Space Physics Theory, Particle, and Nuclear Environmental Physics and Renewable ...