Masfufiah, Ilmiatul
Unknown Affiliation

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

Desain Tunable Kapasitor berbasis MEMS Menggunakan Comsol Multiphysics Masfufiah, Ilmiatul; Wati, Trisna; Setiawati, Novie Elok
Prosiding Seminar Nasional Sains dan Teknologi Terapan 2019: Menuju Penerapan Teknologi Terbarukan pada Industri 4.0: Perubahan Industri dan Transformasi P
Publisher : Institut Teknologi Adhi Tama Surabaya

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (337.851 KB)

Abstract

Simulasi penyajian kapasitor MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ini menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics 5.0.Penelitian ini terdiri dari merancang dan menyetel atau tining kapasitor pelat paralel yang dapat diatur secara elektrostatis untuk mendapatkan peningkatan nilai kapasitansi. Menyetel nilai kapasitansi dengan mengubah parameter desain kapasitor telah dilakukan dan ditunjukkan dengan 3 cara yaitu: dengan mengubah bahan dielektrik, mengurangi ketinggian pegas, dan memperluas area kapasitor.