KARST : Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya
Vol 1 No 1 (2018): KARST : Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya

ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD

Yusdarina Yusdarina (Universitas Muslim Maros)

Article Info

Publish Date
31 Dec 2018

Abstract

Analisis Pengaruh Daya RF Terhadap Karakteristik Lapisan Tipis Silicon Amorf Terhidrogenasi yang Ditumbuhkan dengan Teknik VHF-PECVD. Tujuan penelitian ini adalah untuk menganalisis pengaruh daya Rf dan temperatur subtract terhadap sifat listrik dan optik lapisan tipis silikon amorf terhidrogenasi yang terdiri dari transmitansi, koefisien absorpsi (a), celah pita optic (Eopt), indekss bias (n) dan laju deposisi yang ditumbuhkan dengan teknik Very High Frequency PECVD. Hasil optimasi temperature Subtract menunjukkan bahwa lapisan a-Si:H dengan kualitas baik yakni memiliki celah pita optic 1,69 eV, konduktivitas gelap dan terang yang tinggi masing-masing yaitu 9,70 x 10-8 Scm-1 dan 3,42 10-5 Scm-1.

Copyrights © 2018




Citation Download
RIS
EndNote, Reference Manager, ProCite
BibTex
Latex, Jabref
Full PDF
143.82 KB
Original Source
Download Original
Google Scholar
Check in Google Scholar
Journal Info
KARST : Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya
Website

Abbrev

karts

Publisher

Universitas Muslim Maros

Subject

Computer Science & IT Education Materials Science & Nanotechnology Physics Other

Description

Jurnal Karst merupakan media komunikasi bagi para Peneliti, Dosen, Guru, Praktisi dan Mahasiswa untuk menyampaikan hasil kajian dan diutamakan hasil penelitian pada bidang Pendidikan Fisika, Ilmu Fisika dan Fisika Terapan. Jurnal Karst diterbitkan oleh Program Studi Pendidikan Fisika FKIP ...