Jurnal Sains dan Teknologi Nuklir Indonesia (Indonesian Journal of Nuclear Science and Technology)
Vol 7, No 2 (2006): Agustus 2006

DEPOSISI FILM TIPIS CERIA DIDADAH Nd MENGGUNAKAN TEKNIK PULSED-LASER ABLATION DEPOSITION (PLAD)

lis Nurhasanah (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)
Khairurrijal . (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)
Mikrajuddin Abdullah (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)
Bambang Ariwahjoedi (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)
Maman Budiman (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)
Sukirno . (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung Jalan Ganesa 10, Bandung)

Article Info

Publish Date
01 Aug 2006

Abstract

DEPOSISI FILM TIPIS CERIA DIDADAH Nd MENGGUNAKAN TEKNIK PULSED-LASER ABLATION DEPOSITION (PLAD). Film tipis ceria didadah Nd (Nd-doped ceria/NDC) telah berhasil dideposisikan di atas substrat Si(100) pada ~temperatur 400°C menggunakan teknik pulsed-laser ablation depostion (PI‑AD) dalam kondisi vakum dan tekanan 02 antara 15 - 29 mTorr. Analisis difraksi sinar-x, scanning electron microscopy (SEM), dan energy dispersive x-ray (EDX) digunakan untuk mengamati struktur, ketebalan dan komposisi kimia film. Hasil studi ini menunjukkan bahwa tekanan 02 selama proses deposisi menentukan kristalisasi, ketebalan film dan komposisi atom dalam film. Film tipis NDC dengan struktur kompak dan komposisi beragam yang diperoleh menunjukan bahwa teknik PLAD berpotensi untuk menghasilkan film tipis elektrolit yang penting bagi solid electrolyte fuel cell (SOFC).

Copyrights © 2006




Citation Download
RIS
EndNote, Reference Manager, ProCite
BibTex
Latex, Jabref
Original Source
Download Original
Google Scholar
Check in Google Scholar
Journal Info
Jurnal Sains dan Teknologi Nuklir Indonesia (Indonesian Journal of Nuclear Science and Technology)
Website

Abbrev

jstni

Publisher

Badan Tenaga Nuklir Nasional

Subject

Biochemistry, Genetics & Molecular Biology Energy Environmental Science Materials Science & Nanotechnology Mechanical Engineering Medicine & Pharmacology Physics

Description

Focus of Publication in Indonesian Journal of Nuclear Science and Technology : Result of experiment in the field of nuclear science and technology and its applications in various fields. Acceptable topics include: Radioisotope, Radiopharmacy, Nuclear Medicine, Nuclear Radiation and its ...