<![CDATA[Penelitian ini mengenai pengaruh iradasi Gamma terhadap sifat listrik film tipis grafit. Film tipis grafit dideposisi dengan menggunakan metode DC-Unbalanced Magnetron Sputtering. SEM digunakan untuk melihat morfologi permukaan dan ketebalan sampel. Lapisan tipis grafit diperoleh dengan permukaan yang homogen dengan ketebalan   12,08 μm. Pengukuran sifat listrik dilakukan dengan menggunakan LCR-meter, dengan variasi dosis radiasi dari sinar Gamma. Konduktivitas tertinggi diperoleh dengan pemberian dosis radiasi sebanyak 400 kGy, yaitu 0,6372 μS/cm. Konduktivitas lapisan tipis grafit meningkat seiring dengan meningkatnya dosis radiasi yang diberikan.  Katakunci: DC-Unbalanced Magnetron Sputtering: grafit, lapisan tipis, radiasi         Gamma]]>
Copyrights © 2015
