Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

Fabrikasi dan Analisis Struktur Sel Surya Amorf Menggunakan Sistem PECVD Soni Prayogi; Ayunis Ayunis; Yoyok Cahyono; Darminto Darminto
JRST (Jurnal Riset Sains dan Teknologi) Volume 7 No. 2 September 2023: JRST
Publisher : Universitas Muhammadiyah Purwokerto

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.30595/jrst.v7i2.16874

Abstract

Pada studi ini, telah dilakukkan pembuatan lapisan sel surya silikon amorf terhidrogenasi (a-Si:H) tipe p dengan menggunakan sistem PECVD pada subtrat kaca ITO. Deposisi yang dilakukan selama 30 menit dengan daya RF 3-Watt dan temperatur 2700C. Fabrikasi sel surya amorf menggunakanmetode ekperimen dengan mengalirkan gas silan (SiH4) 20 sccm dengan variasi laju gas Hidrogen (H2) dari 30 sccm sampai 70 sccm dan laju gas Boron (B2H6) 2 sccm dan 4 sccm. Hasil fabrikasi sel surya amorf mendapatkan ketebalan lapisan yang diukur dengan spektrometer (NanoCalc-2000) sebesar 302,8-324,0 nm. Dengan menggunakan pengukuran four-point probe didapatkan konduktivitas gelap 3,34 x 10-3 S/cm dan konduktivitas terang didapatkan 3,91 x 10-3 S/cm. Serta, hasil pengukuran menggunakan UV-VIS mendapatkan energi gap sebesar 1,7-1,8 eV. Fabrikasi lapisan sel surya amorf ini diharapkan dapat meningkatkan efisiensi sel surya berbasis a-Si: H.