Journal of Applied Electrical Engineering
Vol 5 No 2 (2021): JAEE, December, 2021

Penggunaan SEM dan Image-J dalam Mempelajari Ketebalan Lapisan Mikrostruktur

Muhammad Iqbal (Unknown)
Muhammad Firdaus (Unknown)
Muhammad Al Fauzan (Unknown)
Meilan Novayanti (Unknown)
Fathiyyah Syahidah Sujana (Unknown)
M. Rifan Maulana (Unknown)
Hana Mutialif Maulidiah (Unknown)
Widya Rika Puspita Rika Puspita (Unknown)
Mustanir Mustanir (Unknown)
Adlian Jefiza (Unknown)
Budiana Budiana (Unknown)
Nur Sakinah Asaad (Unknown)



Article Info

Publish Date
30 Dec 2021

Abstract

Telah dilakukan penelitian terkait dengan ketebalan lapisan mikrostruktur dengan menggunakan SEM (Scanning Electron Microscope) dan Image-J. Sampel diuji dengan menggunakan SEM untuk mendapatkan mikrostruktur dari sampel. Setelah mikrostruktur didapatkan maka dilakukan analisa ketebalan lapisan mikrostruktur dengan menggunakan teknik pengukuran secara langsung menggunakan SEM dan teknik pengukuran tidak langsung menggunakan aplikasi Image-J. Berdasarkan hasil penelitian yang telah dilakukan, pengukuran ketebalan lapisan dengan menggunakan SEM dan Image-J menunjukkan pola kurva yang sama untuk semua ketebalan lapisan. Persentase perbedaan pengukuran ketebalan lapisan dengan menggunakan SEM dan Image J adalah 0.7% untuk lapisan ke-1, 1,6 % untuk lapisan ke-2 dan 0.8 % untuk lapisan ke-3. Persentase perbedaan tersebut sangat kecil (<2%) sehingga aplikasi Image-J ini dapat digunakan sebagai alternatif di dalam pengukuran ketebalan lapisan mikrostruktur

Copyrights © 2021






Journal Info

Abbrev

JAEE

Publisher

Subject

Control & Systems Engineering Electrical & Electronics Engineering

Description

JAEE (Journal of Applied Electrical Engineering) e-ISSN: 2548-9682 is a peer-reviewed scientific journal published by the Department of Electrical Engineering, Politeknik Negeri Batam, Indonesia. It is a free-of-charge open access journal published in two issues per year (June, December). The ...