Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2019 - 2024
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Jurnal Pendidikan IPA Indonesia UPEJ Unnes Physics Education Journal
P. Marwoto
Faculty of Mathematics and Natural Sciences, Universitas Negeri Semarang, Indonesia
Education Physics

Published : 12 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 12 Documents
Search

 1   2 
PEMBELAJARAN DENGAN PENDEKATAN KETERAMPILAN PROSES SAINS UNTUK MENINGKATKAN PENGUASAAN KONSEP SUHU DAN PEMUAIAN Subagyo, Y.; Wiyanto, -; Marwoto, P.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 5, No 1 (2009)
Publisher : Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui peningkatan hasil belajar siswa SMP dengan pendekatan keterampilan proses padapokok bahasan suhu dan pemuaian. Penelitian dilaksanakan dengan metode pre-post eksperimen tanpa kendali. Pre dan pos tesdilakukan untuk melihat peningkatan pemahaman konsep siswa. Pengamatan keterampilan dan sikap ilmiah dilakukan pada awaldan akhir kegiatan laboratorium berbasis inkuiri. Data penelitian diambil sebelum percobaan, selama percobaan, dan setelahpercobaan. Hasil belajar pretes pemahaman konsep diperoleh rata-rata 51%, postes 61,73%, dan gain sebesar 0,219 (low-gain).Hasil belajar keterampilan proses, pengamatan awal diperoleh rata-rata 54%, pengamatan akhir 76%, dan gain sebesar 0,478(medium-gain). Hasil pengamatan sikap ilmiah awal siswa rata-rata 55%, pengamatan akhir 67%, dan gain sebesar 0,267 (lowgain).Jadi hasil belajar siswa pada penelitian ini mengalami peningkatan. The research aimed to observe the improvement of junior high Scholl students in learning on temperature and expansion byprocess skill approach. Uncontrolled pre-post experiment method was used in this study. Pre and post test was used to obtain thestudents understanding. The observation of skills and scientific attitudes was done on the beginning and at the end of each inquirybased laboratory activity. The data extracted from beginning, during and after labs activity. The achievements in conceptunderstanding yield the value of 51 % for pre test and 61.73% for post test thus gain the gain is 0.219 (low gain). Theachievements in process skills end up with the value of 54 % for initials and 76% for the finals observations give the gain of 0.478(medium-gain). The observations in scientific attitude give the average value 55% at the beginning and 67% at the end, so the gainis 0,267. Overall conclusion, the students achievement is improved.Keywords: science; process skills; learning achievements
PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN INKUIRI TERPIMPIN UNTUK PENINGKATAN PEMAHAMAN DAN KETERAMPILAN BERPIKIR KRITIS SISWA SD Sochibin, A.; Dwijananti, P.; Marwoto, P.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 5, No 2 (2009)
Publisher : Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Penelitian tindakan kelas ini bertujuan untuk mengetahui peningkatan pemahaman konsep siswa terhadap pokok bahasan air dansifatnya, selain itu juga untuk mengetahui pertumbuhan dan perkembangan keterampilan bepikir kritis siswa kelas IV semestergasal SDN Sekaran 01 Gunungpati Semarang tahun ajaran 2008/2009. Metode dokumentasi, metode tes, dan metode observasidigunakan untuk mengumpulkan data. Data hasil pemahaman konsep diperoleh dengan mengadakan tes setelah selesaipembelajaran baik siklus I maupun siklus II, sedangkan untuk data keterampilan berpikir kritis diadakan observasi pada saatpembelajaran berlangsung. Hasil penelitian menunjukkan bahwa model pembelajaran Inquiry terpimpin dapat meningkatkanpemahaman konsep siswa dan menumbuhkembangkan keterampilan berpikir kritis siswa kelas IV SD pokok bahasan air dansifatnya. This class action research is aimed to know the comprehensive improvement of concept of students on water and its nature topicand to know the growth and development of critical thinking skill of class IV students odd semester of Sekaran 01 ElementarySchool Gunungpati Semarang academic year 2008/2009. Documentation, test, and observation used to collect data.Documentation, test, and observation methods were acquired by using tests after learning is finished either first methods or secondcycle, while critical thinking skill data an observation was done during the learning process. The results of the study showed thatguided inquiry learning model can enhance students understanding of concept and develop critical thinking skills of students of IVclass elementary school on water and its nature.Keywords: critical thinking; guided inquiry; learning method
PEMBUATAN MMC BERBASIS TEKNOLOGI METALURGI SERBUK DENGAN BAHAN BAKU ALUMINIUM DARI LIMBAH KALENG MINUMAN DAN ADITIF ABU SEKAM PADI Akrom, M.; Marwoto, P.; Sugianto, -
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 6, No 1 (2010)
Publisher : Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Komposit matriks logam (aluminium) yang berasal dari limbah kaleng minuman dengan penguat partikel silikon karbida danpenguat tambahan abu sekam padi telah berhasil difabrikasi dengan metode teknologi metalurgi serbuk. Tujuan dari penelitian iniadalah merekayasa material baru yang murah akan tetapi memiliki mutu dan daya saing yang sangat baik. Penelitian ini terdiri daribeberapa tahap yakni, pembuatan bahan baku, pencampuran, pencetakan sampel, sintering dan pengujian. Dari hasil pengujianfisik diperoleh bahwa komposit matrik logam dengan penambahan abu sekam padi memiliki kerapatan lebih rendah dibandingkandengan komposit Al/SiC tanpa sekam padi, sedangkan sifat kekerasan dan kekuatannya jauh lebih besar dibandingkan Al/SiCtanpa penambahan abu sekam padi. Dari analisis XRD ditemukan bahwa terjadi penyebaran unsur utama Al, Si, senyawa SiC,serta timbul senyawa stabil MgAl O , Al O yang bersifat konstruktif yang dapat memberikan sifat mekanis yang baik bagi komposit,dan senyawa destruktif Al C yang bersifat korosif. Analisis SEM menunjukkan ukuran butiran partikel yang cenderung lebar danmemanjang, ikatan antar partikel penyusun bahan yang terbentuk cukup baik, sehingga memberikan sifat mekanis bahan yangbaik.Tidak tampaknya pori-pori bahan menunjukkan pula bahwa ikatan partikel antar bahan cukup baik. Metal (aluminium) matrix composite originated from beverage can waste with carbide silicon particle reinforcement and additionalreinforcement of paddy chaff ash has been fabricated successfully by employing powder metallurgy technology method. Thepurpose of the research is to create a cheap new material, qualified and having high competitive value. This research wasconducted through several stages, those were making raw material, mixing, sample moulding, sintering, and testing. The result ofphysical test shows that metal matrix composite added by paddy chaff ash has lower density, stronger and bigger power comparedto Al/SiC composite without paddy chaff. The XRD analysis shows that there is distribution of the main element of Al, Si, SiCcompound, and there are also stable constructive compounds of MgAl O and AlO, which can give good mechanical properties tothe composite and destructive compound of Al C, which can give corrosive property. The SEM analysis shows that size of particlegrain appears to be wide and get longer and the bond between ingredients are good enough, creating good mechanical property ofthe material. No pores are found showing that the bond particle between materials is good enough.Keywords: Aluminium; paddy chaff ash; metal matrix composite; powder metallurgy
PENINGKATAN KUALITAS PERKULIAHAN SOLUSI DERET MELALUI PENDEKATAN TEACHING ASSISTANT Masturi, -; Marwoto, P.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 6, No 1 (2010)
Publisher : Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Kurangnya aktivitas belajar dan rendahnya nilai yang diperoleh mahasiswa dalam perkuliahan solusi deret merupakan masalahpembelajaran yang harus dipecahkan. Penelitian ini dilakukan untuk melihat sejauh mana pengaruh penerapan pendekatanteaching assistant dapat meningkatkan kualitas perkuliahan solusi deret. Subyek penelitian ini adalah mahasiswa PendidikanFisika UNNES. Penelitian ini dilakukan di Jurusan Fisika UNNES dengan desain penelitian tindakan kelas dua siklus. Instrumenyang digunakan adalah instrumen aktivitas yang meliputi: motivasi belajar, intensitas belajar dan interaksi belajar dan instrumenprestasi untuk mengukur hasil belajar. Dari penelitian ini didapatkan bahwa asistensi dapat meningkatkan aktivitas dan prestasibelajar. Hal itu terlihat dari 50 mahasiswa yang diberi tindakan, aktivitas belajar mereka pada siklus I dan II berada pada kategoribaik. Dari hasil observasi selama perkuliahan didapatkan adanya peningkatan intensitas pengerjaan tugas dan kuis. Nilai yangdiperoleh, dari siklus I ke siklus II mengalami peningkatan dari 65 menjadi 71. Dengan demikian, pendekatan teaching assistantterbukti dapat meningkatkan kualitas perkuliahan solusi deret. In this research, the effects of teaching assistant approach on the improvement of lecture quality of series solution topic wereinvestigated. The classroom action research with two cycles was set in physics education program. Some instruments that used toexplore the students activities were learning motivation, learning intensity, and learning interaction. Achievement instrument isused to measure the students achievement. The results of the research show that teaching assistant can improve the studentsactivity as well as their achievement. It can be seen from the increasing activity of 50 students with good category from cycle one tothe second one. The observation results show that there is a significant improvement in intensity of students interest in doing thetasks and quizzes. The average of students achievement was rose from 65 to 71 in cycle I to cycle II. From these results, it can beconcluded that the teaching assistant can improve the teaching quality of the solution of series chapter.Keywords: series solution; learning quality; teaching assistant
PENINGKATAN KUALITAS FILM TIPIS CdTe SEBAGAI ABSORBER SEL SURYA DENGAN MENGGUNAKAN DOPING TEMBAGA (Cu) Marwoto, P.; Darmaputra, N.M.; -, Sugianto; Othaman, Z.; Wibowo, E.; Astuti, S.Y.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 8, No 2 (2012)
Publisher : Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Film tipis CdTe dengan doping tembaga (Cu) berkonsenterasi 2% telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Indium Tin Oxide (ITO) dengan metode dc magnetron sputtering. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui pengaruh doping Cu(2%) terhadap struktur morfologi, struktur kristal, fotoluminisensi dan resistivitas listrik film CdTe. Citra morfologi Scanning Electron Microscopy (SEM) dan hasil analisis struktur dengan X-Ray Diffraction (XRD) menunjukkan bahwa film CdTe:Cu(2%) mempunyai citra permukaan dan struktur kristal yang lebih sempurna dibandingkan film CdTe tanpa doping. Hasil analisis spektrometer fotoluminisensi menunjukkan bahwa film CdTe dan CdTe(2%) mempunyai puncak fotoluminisensi pada tiga panjang gelombang yang identik yaitu 685 nm (1,81 eV), 725 nm (1,71 eV) dan 740 nm (1,67 eV). Film CdTe dengan doping Cu(2%) memiliki intensitas puncak fotoluminisensi yang lebih tajam pada pita energi 1,81 eV dibandingkan dengan film CdTe tanpa doping. Pengukuran arus dan tegangan (I-V) menunjukkan bahwa pemberian doping Cu(2%) dapat menurunkan resistivitas film dari 8,40x109 Ωcm menjadi 6,92x105 Ωcm. Sebagai absorber sel surya, kualitas film tipis CdTe telah berhasil ditingkatkan dengan pemberian doping Cu(2%).CdTe:Cu(2%) thin film has been successfully grown on Indium Tin Oxide (ITO) substrates by using dc magnetron sputtering. This study was carried out in order to investigate the effect of Cu(2%) doping on the morphologycal structure, crystal structure, photoluminesence, and resistivity of CdTe thin film. Scanning Electron Microscopy (SEM)  images and X-Ray Diffraction (XRD) results showed that CdTe:Cu(2%) thin film has morphologycal and crystal structures more perfect than undoped CdTe film. Photoluminesence spectroscopy results showed that CdTe and CdTe:Cu(2%) thin films have luminesence peak at three identical wevelength regions i.e. 685 nm (1.81 eV), 725 nm (1.71 eV) and 740 nm (1.67 eV) however CdTe:Cu(2%) film shows sharper photoluminescence peak at band energy of 1.81 eV. Current-Voltage (I-V) measurement showed that the presenting of Cu doping on CdTe film configuration could decrease its electrical resistivity from 8.40x109 Ωcm to 6.92x105 Ωcm. Indeed, as absorber layer of solar cell, the performance of CdTe thin film has been succsesfully improved by using Cu(2%) as doping.
VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA) Sulhadi, S.; Fatiatun, F.; Marwoto, P.; Sugianto, S.; Wibowo, E.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 11, No 1 (2015): January 2015
Publisher : Physics Department, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, Semarang State University

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jpfi.v11i1.4007

Abstract

Telah dilakukan deposisi film tipis ZnO:Ga di atas substrat kaca korning pada tekanan deposisi 500 mtorr dengan metode DC-magnetron sputtering. Film ditumbuhkan masing-masing pada suhu 325oC, 375oC, dan 425oC. Struktur, sifat optik dan sifat listrik film tipis yang dideposisikan telah dikarakterisasi dengan menggunakan EDX, XRD, SEM, spektrofotometer UV-Vis dan I-V Meter. Analisis EDX menunjukkan bahwa film yang terdeposisi merupakan film tipis ZnO:Ga. Hasil analisis struktur dengan XRD menunjukkan bahwa film tipis ZnO:Ga yang dideposisikan merupakan polikristalin dengan struktur heksagonal wurtzite. Film ZnO:Ga yang dideposisikan pada suhu 325o mempunyai kualitas kristal yang lebih baik dibandingkan dengan film yang dideposisikan pada suhu 375o dan 425oC. Hasil XRD juga terkonfirmasi dengan observasi SEM menunjukkan bahwa film ZnO:Ga yang dideposisikan pada suhu 325oC mempunyai ukuran butir yang lebih homogen dibandingkan dengan film yang ditumbuhkan pada suhu deposisi 375o dan 425oC. Film tipis ZnO:Ga yang ditumbuhkan pada suhu 325oC mencapai transmitansi optik ~ 89% dan energi bandgap ~3,33 eV. Sifat listrik dapat diketahui dengan menggunakan I-V Meter yang menunjukkan nilai  1,74 x10ˉ3 (Ωcm)ˉ1 pada suhu deposisi 325oC. Thin films ZnO:Ga were deposited on corning glass substrates with argon gas pressure 500 mtorr and variation temperature at 325oC,  375oC and 425oC by DC-Magnetron Sputtering. The structural studies, optical and electricity properties of the thin films have been investigated by means of EDX, XRD, SEM, Uv-Vis spectroscopy and I-V meter. The EDX result show that thin films were deposited is ZnO:Ga thin films. The structural studies result from XRD show the ZnO:Ga thin films deposited have polycrystalline with the hexagonal wurtzite structure. ZnO:Ga film were deposited at 325oC have the better quality crystal with the other. The XRD result also appropriate with SEM, it was shown at 325oC has grain size more homogeny with the other films. Thin films ZnO:Ga was deposited at 325oC has the optical transmittance ~89% and the bandgap ~3,33 eV. Electrical conductivity 1.74 x10ˉ3 (Ωcm)ˉ1 at deposited  325oC. 
THIN FILM-BASED SENSOR FOR MOTOR VEHICLE EXHAUST GAS, NH3, AND CO DETECTION Sujarwata, S.; Marwoto, P.; Handayani, L.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 12, No 2 (2016): July 2016
Publisher : Physics Department, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, Semarang State University

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jpfi.v12i2.4621

Abstract

A copper phthalocyanine (CuPc) thin film based gas sensor with FET structure and channel length 100 μm has been prepared by VE method and lithography technique to detect NH3, motor cycle exhaust gases and CO. CuPc material layer was deposited on SiO2 by the vacuum evaporator (VE) method at room temperature and pressure of 8 x10-4 Pa. The stages of manufacturing gas sensor were Si/SiO2 substrate blenching with ethanol in an ultrasonic cleaner, source, and drain electrodes deposition on the substrate by using a vacuum evaporator, thin film deposition between the source/drain and gate deposition. The sensor response times to NH3, motorcycle exhaust gases and CO were 75 s, 135 s, and 150, respectively. The recovery times were 90 s, 150 s and 225, respectively. It is concluded that the CuPc thin film-based gas sensor with FET structure is the best sensor to detect the NH3 gas.Sensor gas berbasis film tipis copper phthalocyanine (CuPc) berstruktur FET dengan panjang channel 100 μm telah dibuatdengan metode VE dan teknik lithography untuk mendeteksi NH3 gas buang kendaraan bermotor dan CO. Lapisan bahan CuPc dideposisikan pada permukaan silikon dioksida (SiO2) dengan metode vacuum evaporator (VE) pada temperatur ruang dengan tekanan 8 x10-4 Pa. Tahapan pembuatan sensor gas adalah pencucian substrat Si/SiO2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, deposisi elektroda source dan drain di atas substrat dengan metode vacuum evaporator, deposisi film tipis diantara source/drain dan deposisi gate. Waktu tanggap sensor terhadap NH3, gas buang kendaraan bermotor dan CO berturut-turut adalah 75 s, 135 s,dan 150 s. Waktu pemulihan berturut-turut adalah 90 s, 150 s,dan 225 s. Disimpulkan bahwa sensor gas berstruktur FET berbasis film tipis CuPc merupakan sensor paling baik untuk mendeteksi adanya gas NH3.
PERANGKAT PEMBELAJARAN PROBLEM BASED LEARNING BERORIENTASI GREEN CHEMISTRY MATERI HIDROLISIS GARAM UNTUK MENGEMBANGKAN SOFT SKILL KONSERVASI SISWA Rosita, A.; -, Sudarmin; Marwoto, P.
Jurnal Pendidikan IPA Indonesia Vol 3, No 2 (2014): October 2014
Publisher : Program Studi Pendidikan IPA Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam (FMIPA)

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jpii.v3i2.3112

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan perangkat pembelajaran problem based learning berorientasi green chemistry pada materi hidrolisis garam untuk mengembangkan soft skill konservasi siswa SMA. Metode penelitian ini adalah research and development (R&D). Hasil penelitian menunjukkan LKS yang dikembangkan sangat layak untuk digunakan dalam pembelajaran kimia. Perangkat pembelajaran dapat meningkatkan pemahaman konsep siswa materi hidrolisis garam dengan N-gain sebesar 0,63 (sedang). Peningkatan soft skill konservasi siswa yang berkriteria tinggi sebanyak 35,48 % sedangkan yang berkriteria sedang 64,52 %. This research has aim to developt teaching and learning instrument application on problem based learning which oriented on green chemistry on salt hydrolisys for developing conservation soft skill for student. The method of this research is research and development (R&D). The results showed a very worthy worksheets developed for use in teaching chemistry. Teaching instrument can improve the understanding of student concept of salt hydrolysis matery can get N-gain 0,63 (medium). The improving soft skill of student conservation has high criteria 35,48%. For medium has 64,52%.
THIN FILM-BASED SENSOR FOR MOTOR VEHICLE EXHAUST GAS, NH3, AND CO DETECTION Sujarwata, S.; Marwoto, P.; Handayani, L.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 12, No 2 (2016)
Publisher : Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jpfi.v12i2.4621

Abstract

A copper phthalocyanine (CuPc) thin film based gas sensor with FET structure and channel length 100 ?m has been prepared by VE method and lithography technique to detect NH3, motor cycle exhaust gases and CO. CuPc material layer was deposited on SiO2 by the vacuum evaporator (VE) method at room temperature and pressure of 8 x10-4 Pa. The stages of manufacturing gas sensor were Si/SiO2 substrate blenching with ethanol in an ultrasonic cleaner, source, and drain electrodes deposition on the substrate by using a vacuum evaporator, thin film deposition between the source/drain and gate deposition. The sensor response times to NH3, motorcycle exhaust gases and CO were 75 s, 135 s, and 150, respectively. The recovery times were 90 s, 150 s and 225, respectively. It is concluded that the CuPc thin film-based gas sensor with FET structure is the best sensor to detect the NH3 gas.Sensor gas berbasis film tipis copper phthalocyanine (CuPc) berstruktur FET dengan panjang channel 100 ?m telah dibuatdengan metode VE dan teknik lithography untuk mendeteksi NH3 gas buang kendaraan bermotor dan CO. Lapisan bahan CuPc dideposisikan pada permukaan silikon dioksida (SiO2) dengan metode vacuum evaporator (VE) pada temperatur ruang dengan tekanan 8 x10-4 Pa. Tahapan pembuatan sensor gas adalah pencucian substrat Si/SiO2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, deposisi elektroda source dan drain di atas substrat dengan metode vacuum evaporator, deposisi film tipis diantara source/drain dan deposisi gate. Waktu tanggap sensor terhadap NH3, gas buang kendaraan bermotor dan CO berturut-turut adalah 75 s, 135 s,dan 150 s. Waktu pemulihan berturut-turut adalah 90 s, 150 s,dan 225 s. Disimpulkan bahwa sensor gas berstruktur FET berbasis film tipis CuPc merupakan sensor paling baik untuk mendeteksi adanya gas NH3.
VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA) Sulhadi, S.; Fatiatun, F.; Marwoto, P.; Sugianto, S.; Wibowo, E.
Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia Vol 11, No 1 (2015)
Publisher : Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jpfi.v11i1.4007

Abstract

Telah dilakukan deposisi film tipis ZnO:Ga di atas substrat kaca korning pada tekanan deposisi 500 mtorr dengan metode DC-magnetron sputtering. Film ditumbuhkan masing-masing pada suhu 325oC, 375oC, dan 425oC. Struktur, sifat optik dan sifat listrik film tipis yang dideposisikan telah dikarakterisasi dengan menggunakan EDX, XRD, SEM, spektrofotometer UV-Vis dan I-V Meter. Analisis EDX menunjukkan bahwa film yang terdeposisi merupakan film tipis ZnO:Ga. Hasil analisis struktur dengan XRD menunjukkan bahwa film tipis ZnO:Ga yang dideposisikan merupakan polikristalin dengan struktur heksagonal wurtzite. Film ZnO:Ga yang dideposisikan pada suhu 325o mempunyai kualitas kristal yang lebih baik dibandingkan dengan film yang dideposisikan pada suhu 375o dan 425oC. Hasil XRD juga terkonfirmasi dengan observasi SEM menunjukkan bahwa film ZnO:Ga yang dideposisikan pada suhu 325oC mempunyai ukuran butir yang lebih homogen dibandingkan dengan film yang ditumbuhkan pada suhu deposisi 375o dan 425oC. Film tipis ZnO:Ga yang ditumbuhkan pada suhu 325oC mencapai transmitansi optik ~ 89% dan energi bandgap ~3,33 eV. Sifat listrik dapat diketahui dengan menggunakan I-V Meter yang menunjukkan nilai  1,74 x10ˉ3 (Ωcm)ˉ1 pada suhu deposisi 325oC. Thin films ZnO:Ga were deposited on corning glass substrates with argon gas pressure 500 mtorr and variation temperature at 325oC,  375oC and 425oC by DC-Magnetron Sputtering. The structural studies, optical and electricity properties of the thin films have been investigated by means of EDX, XRD, SEM, Uv-Vis spectroscopy and I-V meter. The EDX result show that thin films were deposited is ZnO:Ga thin films. The structural studies result from XRD show the ZnO:Ga thin films deposited have polycrystalline with the hexagonal wurtzite structure. ZnO:Ga film were deposited at 325oC have the better quality crystal with the other. The XRD result also appropriate with SEM, it was shown at 325oC has grain size more homogeny with the other films. Thin films ZnO:Ga was deposited at 325oC has the optical transmittance ~89% and the bandgap ~3,33 eV. Electrical conductivity 1.74 x10ˉ3 (Ωcm)ˉ1 at deposited  325oC. 
Co-Authors - Sugianto A. Rosita A. Sochibin Alfathy, R. M. Astuti, H. D. E. Wibowo Fatiatun, Fatiatun H. Susanto L. Handayani M. Akrom Masturi Masturi N.M. Darmaputra P. Dwijananti S. Linuwih S. Sujarwata, S. S.Y. Astuti Sudarmin - Sugianto - Sulhadi - Wiyanto - Y. Subagyo Z. Othaman