p-Index From 2019 - 2024
4.319
P-Index
This Author published in this journals
All Journal DE JURE Sainteknol : Jurnal Sains dan Teknologi PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika KONSELING RELIGI Jurnal Matematika & Sains Jurnal Akuntansi Multiparadigma UNIFIKASI Sosioinforma Record and Library Journal Jurnal Edukasi dan Sains Biologi HUMAN FALAH: Jurnal Ekonomi dan Bisnis Islam JURNAL PROFESI KEGURUAN Konversi Universa Medicina Unnes Science Education Journal Jurnal Ilmiah Peuradeun AL-IDARAH: JURNAL KEPENDIDIKAN ISLAM Turbo : Jurnal Program Studi Teknik Mesin SYAMIL: Jurnal Pendidikan Agama Islam (Journal of Islamic Education) Conference SENATIK STT Adisutjipto Yogyakarta Bisma: Jurnal Bisnis dan Manajemen Journal of Education Action Research IKRA-ITH EKONOMIKA Jo-ELT (Journal of English Language Teaching) Fakultas Pendidikan Bahasa dan Seni Program Studi Pendidikan Bahasa Inggris IKIP Jurnal Yuridis UPEJ Unnes Physics Education Journal Journal of Innovative Science Education Unnes Journal of Mathematics Education Research Journal of Primary Education YARSI Medical Journal Jurnal Qua Teknika Gema Wiralodra Jurnal Yustitia International Journal of Economics, Business and Accounting Research (IJEBAR) Physics Communication Budapest International Research and Critics Institute-Journal (BIRCI-Journal): Humanities and Social Sciences Pedagogia: Jurnal Ilmiah Pendidikan Dasar Indonesia Journal of Industrial Engineering & Management Research (JIEMAR) International Journal of Social Service and Research International Journal of Research Innovation and Entrepreneurship Az Zarqa': Jurnal Hukum Bisnis Islam
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search
Journal : PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika

SINTESIS BAHAN RESIST DARI EPOXY UNTUK APLIKASI FOTOLITOGRAFI Sutikno, Sutikno; Nurdiana, Eka; Sugianto, Sugianto
PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika Vol 1, No 4 (2013)
Publisher : PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (296.123 KB)

Abstract

Bahan yang digunakan dalam penelitian meliputi resin epoxy, sodium acetate trihydrate dan toluena. Epoxy merupakan polimer yang sering digunakan sebagai komponen photoresist. Polimer berbasis epoxy merupakan kandidat yang baik digunakan sebagai bagian dari perangkat mekanik mikro elektro. Epoxy umumnya memberikan sifat adhesi yang luar biasa terhadap permukaan semikonduktor, sensitivitas yang baik dan harga yang murah. Photoresist epoxy yang dihasilkan memiliki absorbansi 0,1-1,5 pada panjang gelombang g-line, h-line dan i-line, sedangkan pada panjang gelombang XeF selalu bernilai negatif. Strutur mikro permukaan film tipis photoresist dengan pemanasan 70ºC menghasilkan homogenitas permukaan lebih halus daripada pemanasan 90ºC. Kerapatan photoresist meningkat dengan semakin banyaknya komposisi toluena dan viskositas cairan photoresist berkurang dengan meningkatnya komposisi toluena. Kata kunci: photoresist; epoxy; polimer fotosensitif; litografi
Co-Authors A.A. Ketut Agung Cahyawan W Afifah, Rachma Agus Mirwan Al Jody, Abraham Ali Sarong Amin, Mohammad Latiful Aminda, Renea Shinta Anak Agung Gede Sugianthara Andrianingsih, Vivi Ani Rusilowati Arif Widiyatmoko, Arif Astuty, Eny Sri Wiji Atikah Atikah azzarqa, azzarqa Bambang Subali Budi Astuti DENI SETIAWAN Dharma Putra, Ngurah Made Dian Aswita, Dian Djufri - DWI YULIANTI Eka Nurdiana Eriana, Eriana Ernawaty Usman Erni Erni Faradlan, Ridwan Fariyani, Qisthi Farumananda, Fatimah Primadian Fatmasari, Hanindya Ranengtyas Febrianti, Ita Dwi Fitria Akhyar Hadi Susanto Handayani, Try Lisa Hanifah, Desty Putri Hari Bakti Mardikantoro Ikhbar Nur Jiwanto, Ikhbar Nur Ikhsan, Imaddudin Imastuti, Imastuti Isnarto, Isnarto Isnarto, Isnarto Jiantari, Jiantari Juliannisa, Indri Arrafi Kartono - Khumaedi - Kriswanto Widyo, Kriswanto Kurnia, Wanda Hesti Laksmi Asanti, Laksmi Laksono Trisnantoro Leliya Leliya Linda Retnowati Majdi, Muhammad Kamal Marliyah, Marliyah Masrukhan, Masrukhan Masruroh, Nashihah Laila Mosik - Mudinillah, Adam Mufida, Husna Noor Muhammad Ridwan Munazah, Yuli Muttaqin, Rodhotul Nafisah, Baiq Zuhrotun Nafisah, Baiq Zuhrotun Nasution, Junita Muharani Noor Hidayah Nugraheni, Savira NUGROHO, ADRIYANTO ADHI NUR HAMID Pangesti, Kurnia Ika Pratiwi, Azmi Fitria Putra, Ngurah Made Darma Putut Marwoto Rahmawati, Nurlaili Tri Ramadhani, Pawitrasari Mahestyas Reza Faizal, Reza Riswanda Riswanda Rizaldy Pinzon Rochmad - Rofiatul Zannah, Rofiatul Saputra, Syifa Selmita Paranoan Setyaningsih, Natalia Erna Siti Alimah Soediantono, Dwi Sofi'ah, Saifuli Sofyan Hadi Sri Sulistyorini, Sri St. Budi Waluya Suadiyatno, Taufik Suadiyatno, Taufik Sugiyanto - Suharto Linuwih Sukamto Sukamto Sukiswo Supeni Edie, Sukiswo Supeni Sukmagati, Oktaviani Putri SUKOWATI, DWI Sulhadi - Sulistyani, Anis Sunarno Sunarno Sunyoto Eko Nugroho, Sunyoto Eko Sutikno Sutikno Ubaidillah Ubaidillah Utami, Friska Dhian Wahyu Hardyanto Waluya, S.B Winarto, Anton Wiwi Isnaeni Wiyanto - Wulandari, Ika Putri Yanti Yanti Yasiroh, Laeli Yesy Diah Rosita Yul, Yul Tito Permadhy